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mdash先进ArF光刻机的搬入共有六十一台设备已经搬入

业界 | 2022-03-28 15:21:23
时间:2022-03-28 15:21:23   /   来源: 快科技      阅读量:18804   

日前国产芯片厂商格科微宣布成功实现整套ASML光刻机中的关键设备mdash,mdash,先进ArF光刻机的搬入。

mdash先进ArF光刻机的搬入共有六十一台设备已经搬入

据格科微表示,目前,格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收,相关厂务系统配备进展顺利,共有六十一台设备已经搬入未来,外延,蚀刻,薄膜,清洗等相关设备仍会陆续搬入

格科微表示,ArF光刻机的成功引入,是格科微12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目建设的关键节点。。

依托自有工厂即格科半导体的先进制程,格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度,并在自有工厂实现批量生产验证,从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。

根据消息显示,该项目总投资约155亿元,建设一座12英寸,月产6万片的芯片厂,建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线,预计年底达到量产状态。其中,超精密测控设备的组成部分主要包括精密运动系统及技术开发,掩模对准器双工作台模块及技术开发,经典卡盘及技术开发和隔振器。超精密测控设备可分为晶圆级键合设备及技术开发和激光退火设备。

今年2月,格科微披露2021年度业绩快报报告期内,公司实现营收70亿元,同比增长8.44%,实现归母净利润12.59亿元,同比增长62.78%,扣非净利润12.03亿元,同比增长57.09%

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